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经营范围
发明名称
HIGH VACUUM PUMP PROTECTING SYSTEM IN HIGH VACUUM EXHAUST SYSTEM
摘要
申请公布号
JPS6453076(A)
申请公布日期
1989.03.01
申请号
JP19870205860
申请日期
1987.08.19
申请人
JEOL LTD
发明人
HIRANO HARUO;YOSHIMURA NAGAMITSU;AOKI YOSHINORI
分类号
F04B37/16
主分类号
F04B37/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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