发明名称 | 高分辨率深能级瞬态谱仪的设置方法及仪器 | ||
摘要 | 属于半导体深能级谱的测量仪器,本发明提出了高分辨率组合率窗系列,设计了多种方案的高分辨率组合率窗讯号处理仪,以及用此处理仪而得到的高分辨率深能级瞬态(电容)谱仪等多种高分辨率深能级谱仪,本发明仪器所得实验谱线与已有相比,显著地提高了分辨率,本发明可形成一代新的深能级瞬态谱仪。 | ||
申请公布号 | CN1003471B | 申请公布日期 | 1989.03.01 |
申请号 | CN85100447.4 | 申请日期 | 1985.04.03 |
申请人 | 南京大学 | 发明人 | 孙勤生 |
分类号 | G01N27/22;H01L21/66 | 主分类号 | G01N27/22 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 1.关于半导体深能级瞬态谱仪中瞬态信号处理仪的设置方法,其特征是对瞬态讯号设置多点组合率窗系列SRW(m),即对一个瞬态讯号设置多于两个(m≥3)不同时间的取样点(t1、t2、……tm),由其组合构成率窗,具体组合方法由比取样点少一的二个相邻近率窗的谱讯号之差获取:S(3)=S(t1、t2)-S(t2、t3)...S(m)=S(t1、t2…tm-1)-S(t2、t3…tm)=S(t1)-a2mS(t2)+…+(-1)n-1anmS(tn)+…+(-1)m-1S(tm) | ||
地址 | 江苏省南京市汉口路南京大学科研处 |