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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HALBLEITERDETEKTOREN
摘要
申请公布号 DD265492(A1) 申请公布日期 1989.03.01
申请号 DD19870307649 申请日期 1987.10.05
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET KARL-MARX-STADT,DD 发明人 GESSNER,THOMAS,DD;BORANY,JOHANNES VON,DD;BISCHOFF,LOTHAR,DD;SCHMIDT,BERND,DD
分类号 G01T1/24;H01L21/265;H01L21/28;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 G01T1/24
代理机构 代理人
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