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发明名称
APPARATUS FOR POLISHING SEMICONDUCTOR WAFERS
摘要
申请公布号
EP0216054(A3)
申请公布日期
1989.03.01
申请号
EP19860109817
申请日期
1986.07.17
申请人
MOTOROLA, INC.
发明人
CRONKHITE, PAUL W.;BOSLEY, BRUCE C.;JONES, JAMES H.;PATEL, ASIT G.
分类号
B24B37/04;B24B51/00;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04
主分类号
B24B37/04
代理机构
代理人
主权项
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