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发明名称
SEMICONDUCTOR BASE MATERIAL
摘要
申请公布号
AU1935188(A)
申请公布日期
1989.03.01
申请号
AU19880019351
申请日期
1988.06.14
申请人
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人
SIEGFRIED BIRKLE;GERHARD RITTMAYER;ALBRECHT WINNACKER;ROLF SCHULTE;JOHANN KAMMERMAIER
分类号
B01J19/08;C23C4/10;C23C16/00;C23C16/26;H01L21/205;H01L21/365;H01L29/04;H01L29/16
主分类号
B01J19/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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