| 发明名称 |
Directional aperture etched in silicon |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4808260(A) |
申请公布日期 |
1989.02.28 |
| 申请号 |
US19880152718 |
申请日期 |
1988.02.05 |
| 申请人 |
FORD MOTOR COMPANY |
发明人 |
SICKAFUS, EDWARD N.;MIKKOR, MATI |
| 分类号 |
H01L21/302;B41J2/16;F02M61/18;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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