发明名称 TARGETPLATTE FUER KATHODENZERSTAEUBUNG.
摘要
申请公布号 CH669242(A5) 申请公布日期 1989.02.28
申请号 CH19850002986 申请日期 1985.07.10
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 RILLE, EDUARD, DR.;BRACHER, BERNHARD;POLACEK, ROBERT
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):F16B37/12 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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