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发明名称
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申请公布号 JPS6412061(B2) 申请公布日期 1989.02.28
申请号 JP19750125320 申请日期 1975.10.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKIKUCHI KATSUMI;SAKUMICHI KUNYUKI;TAYA TOSHIMICHI;KOIKE HIDEKI
分类号 H01J37/317;B23K15/00;C23C14/24;C23C14/32;C23C14/48;G06F15/02;H01J37/147;H01J37/30;H01L21/265;H01L21/425 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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