| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6450444(A) |
申请公布日期 |
1989.02.27 |
| 申请号 |
JP19870206265 |
申请日期 |
1987.08.21 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
TAKAHASHI MINORU |
| 分类号 |
H01L27/00;H01L21/768;H01L21/8234;H01L23/522;H01L27/08;H01L27/088 |
主分类号 |
H01L27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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