发明名称 SURFACE TREATMENT
摘要
申请公布号 JPS6450426(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870206924 申请日期 1987.08.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 WATANABE SATORU;YAMAZAKI TATSUYA
分类号 H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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