发明名称 HEAT TREATMENT OF III-V SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6450523(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870208715 申请日期 1987.08.21
申请人 NEC CORP 发明人 KUZUHARA MASAAKI;KONO MICHIHISA
分类号 H01L21/26;H01L21/324 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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