METHOD FOR PURIFYING SILICON TETRAFLUORIDE,申请号JP19870206551-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR PURIFYING SILICON TETRAFLUORIDE
摘要
申请公布号	JPS6451314(A)	申请公布日期	1989.02.27
申请号	JP19870206551	申请日期	1987.08.21
申请人	MITSUI TOATSU CHEM INC	发明人	MOMOTAKE HIROYUKI;HARADA ISAO;KOTO NOBUHIKO
分类号	B01J20/18;C01B33/107	主分类号	B01J20/18
代理机构		代理人
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