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发明名称 FORMATION OF II-VI COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6450431(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870206837 申请日期 1987.08.20
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOMATSU HIROSHI
分类号 H01L21/365;H01S5/00 主分类号 H01L21/365
代理机构 代理人
主权项
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