发明名称 ELECTRODE DEVICE FOR VACUUM ARC DISCHARGE TYPE PVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6450354(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870206046 申请日期 1987.08.19
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NIGAMI MASAYASU;FUKUDA TOSHITAKA;SUZUKI YASUO
分类号 H01J37/305 主分类号 H01J37/305
代理机构 代理人
主权项
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