发明名称 SUPERCONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS6450311(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870206090 申请日期 1987.08.19
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI
分类号 C23C14/06;C30B29/22;H01B12/06;H01L39/12 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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