发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPS6451389(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870208480 申请日期 1987.08.21
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MATSUTOMO TOSHIO
分类号 H01L21/18;C30B11/04;C30B29/42 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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