发明名称 PRODUCTION OF SUPERCONDUCTING THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS6451397(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870204900 申请日期 1987.08.18
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 SHIKADA SHINICHI
分类号 C30B23/08;C30B29/22;H01L39/12;H01L39/24 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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