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发明名称 ISOLATION OF MICROELEMENT
摘要
申请公布号 JPS6450540(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870208725 申请日期 1987.08.21
申请人 NEC CORP 发明人 MATSUMOTO HIROSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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