发明名称 FORMATION OF POLYCRYSTALLINE THIN FILM SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6450416(A) 申请公布日期 1989.02.27
申请号 JP19870206809 申请日期 1987.08.20
申请人 CANON INC 发明人 TOKUNAGA HIROYUKI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址