发明名称 METHOD FOR FORMING POSITIVE RESIST PATTERN
摘要
申请公布号 JPS6449039(A) 申请公布日期 1989.02.23
申请号 JP19870205155 申请日期 1987.08.20
申请人 TOSOH CORP 发明人 TSUTSUMI YOSHITAKA;KIYOTA TORU;MATSUMURA KOUZABUROU;NAGAOKA TSUNEKO;YANAGIHARA TOSHIMITSU
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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