发明名称 EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS6449215(A) 申请公布日期 1989.02.23
申请号 JP19870206868 申请日期 1987.08.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HAYAFUJI AKIO
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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