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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6430365(U)
申请公布日期
1989.02.23
申请号
JP19870122472U
申请日期
1987.08.12
申请人
发明人
分类号
C30B15/10;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/10
主分类号
C30B15/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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