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发明名称
MOUNTING STRUCTURE OF PROBING CARD
摘要
申请公布号
JPS6448439(A)
申请公布日期
1989.02.22
申请号
JP19870206036
申请日期
1987.08.18
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
KASAMATSU ISAO
分类号
G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
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