| 发明名称 |
VAPOR DEPOSITION METHOD WITH LASER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS6447857(A) |
申请公布日期 |
1989.02.22 |
| 申请号 |
JP19870201945 |
申请日期 |
1987.08.14 |
| 申请人 |
TOKAI UNIV;NKK CORP |
发明人 |
TACHIKAWA KYOJI;NAKADA KIYOKAZU;KOSUGE SHIGECHIKA;ONO MORIAKI;WATANABE ITARU |
| 分类号 |
C23C14/28;H01L21/203;H01S3/00 |
主分类号 |
C23C14/28 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
