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发明名称 PROCESS FOR THE PRODUCTION OF SILICON TETRACHLORIDE
摘要
申请公布号 EP0302604(A3) 申请公布日期 1989.02.22
申请号 EP19880306326 申请日期 1988.07.11
申请人 DIRECTOR-GENERAL OF AGENCY OF INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 NAKATA, YOSHINORI;SUZUKI, MASAAKI 2-6, TSUKISAMU HIGASHI;OKUTANI, TAKESHI 2-17, TSUKISAMU HIGASHI
分类号 C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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