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发明名称 ASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6448418(A) 申请公布日期 1989.02.22
申请号 JP19870203986 申请日期 1987.08.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJIMURA SHUZO;KONNO JUNICHI
分类号 H01L21/302;G03F7/42;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/3065;H01L21/311 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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