VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR HOMOGENEN SCHICHTABSCHEIDUNG IN VAKUUMANLAGEN,申请号DD19870307190-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN UND EINRICHTUNG ZUR HOMOGENEN SCHICHTABSCHEIDUNG IN VAKUUMANLAGEN
摘要
申请公布号	DD265175(A1)	申请公布日期	1989.02.22
申请号	DD19870307190	申请日期	1987.09.24
申请人	VEB HOCHVAKUUM DRESDEN,DD	发明人	FALZ,MICHAEL,DD;EHRIG,KLAUS,DD;SOLGER,NORBERT,DD
分类号	C23C14/24;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/24	主分类号	C23C14/24
代理机构		代理人
主权项
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