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经营范围
发明名称
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE INTERLAYER INSULATING FILM
摘要
申请公布号
JPS6447054(A)
申请公布日期
1989.02.21
申请号
JP19870203576
申请日期
1987.08.18
申请人
KAWASAKI STEEL CORP
发明人
JOGO AKIRA
分类号
H01L21/768
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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