发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6446976(A) 申请公布日期 1989.02.21
申请号 JP19870203826 申请日期 1987.08.17
申请人 NEC CORP 发明人 ANDO TAKESHI
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/336 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址