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发明名称 SEALING MECHANISM OF HEAT-RESISTANT TUBE FOR HEATING WAFER
摘要
申请公布号 JPS6446919(A) 申请公布日期 1989.02.21
申请号 JP19870203706 申请日期 1987.08.17
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FURUYA AKIYUKI
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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