发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6446923(A) 申请公布日期 1989.02.21
申请号 JP19870203734 申请日期 1987.08.17
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KAMATA TOSHIZO;HARA SEIJI
分类号 H01L21/8238;H01L21/265;H01L21/266;H01L27/08;H01L27/092 主分类号 H01L21/8238
代理机构 代理人
主权项
地址