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发明名称 Micromechanical atomic force sensor head
摘要
申请公布号 US4806755(A) 申请公布日期 1989.02.21
申请号 US19870103993 申请日期 1987.10.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 DUERIG, URS T.;GIMEWSKI, JAMES K.;GRESCHNER, JOHANN;POHL, WOLFGANG D.;WOLTER, OLAF
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01D5/04;G01L1/00;G01L1/04;G01N13/00;G01N23/00;G01N37/00;G01Q20/04;G01Q60/38;G01Q70/14;H01J37/26;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/26 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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