发明名称 PROCESS FOR PREPARING NEGATIVE RELIEF IMAGES
摘要 <p>PROCESS FOR PREPARING NEGATIVE RELIEF IMAGES Negative relief images are generated by a process comprising the use of cationic polymerization and plasma etching.</p>
申请公布号 CA1250177(A) 申请公布日期 1989.02.21
申请号 CA19850496973 申请日期 1985.12.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HULT, ANDERS;ITO, HIROSHI;MACDONALD, SCOTT A.;WILLSON, C. GRANT
分类号 H01L21/30;G03F7/20;G03F7/26;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):G03F7/26 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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