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发明名称 GLASSY CARBON COATED SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 JPS6447019(A) 申请公布日期 1989.02.21
申请号 JP19870204777 申请日期 1987.08.18
申请人 DENKI KAGAKU KOGYO KK 发明人 OGATA YOICHI;KOBAYASHI AKIRA;TERASAKI RYUICHI;NOZAWA KAZUMI;SATO SHINSEI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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