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发明名称 Apparatus and method for removing minute particles from a substrate
摘要
申请公布号 US4806171(A) 申请公布日期 1989.02.21
申请号 US19870116194 申请日期 1987.11.03
申请人 THE BOC GROUP, INC. 发明人 WHITLOCK, WALTER H.;WELTMER, JR., WILLIAM R.;CLARK, JAMES D.
分类号 B01F3/06;B01F5/06;B08B3/00;B08B3/02;B24C1/00;B24C3/32;H01L21/304;(IPC1-7):B08B7/00 主分类号 B01F3/06
代理机构 代理人
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