发明名称
摘要 PURPOSE:By rationalizing the dimension and position of comb-shape electrodes and confronting electrode, reflection is minimized and wire cut is eliminated at photoetching.
申请公布号 JPS5910609(B2) 申请公布日期 1984.03.10
申请号 JP19760045093 申请日期 1976.04.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMAZAKI OSAMU;OCHI KENZO;SETSUNE KENTARO
分类号 H03H3/08;H03H9/02;H03H9/145 主分类号 H03H3/08
代理机构 代理人
主权项
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