VACUUM THIN-FILM FORMATION DEVICE,申请号JP19870203028-传众专利搜索

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发明名称	VACUUM THIN-FILM FORMATION DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6446916(A)	申请公布日期	1989.02.21
申请号	JP19870203028	申请日期	1987.08.17
申请人	FUJITSU LTD	发明人	FUJIOKA HIROSHI
分类号	H01L21/302;H01L21/205;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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