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发明名称
FORMATION OF SURFACE PROTECTIVE FILM FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6447032(A)
申请公布日期
1989.02.21
申请号
JP19870204817
申请日期
1987.08.18
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
MATSUHASHI HIDEAKI
分类号
H01L21/318
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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