发明名称 ELECTRON BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6445138(A) 申请公布日期 1989.02.17
申请号 JP19870201911 申请日期 1987.08.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 OZAKI KAZUYUKI;ITO AKIO;ISHIZUKA TOSHIHIRO;OKUBO KAZUO
分类号 G01R19/00;G01R31/302;H01L21/66 主分类号 G01R19/00
代理机构 代理人
主权项
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