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发明名称 SURFACE PROTECTIVE FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6445128(A) 申请公布日期 1989.02.17
申请号 JP19870202241 申请日期 1987.08.13
申请人 NEC KYUSHU LTD 发明人 SAITO KAZUYUKI;MIYAMOTO KAZUHIRO
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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