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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6445142(A) 申请公布日期 1989.02.17
申请号 JP19870202661 申请日期 1987.08.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAWAKUBO TAKASHI;HIRAYAMA HIDEO;TAKEDA HIROMITSU
分类号 H01L21/31;H01L21/314;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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