发明名称 WERKWIJZE VOOR HET AANBRENGEN VAN DUNNE LAGEN VAN OXIDISCH SUPERGELEIDEND MATERIAAL.
摘要
申请公布号 NL8701718(A) 申请公布日期 1989.02.16
申请号 NL19870001718 申请日期 1987.07.21
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN TE EINDHOVEN. 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L23/52;H01L39/24 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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