发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6444021(A) 申请公布日期 1989.02.16
申请号 JP19870200018 申请日期 1987.08.12
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MUROZONO IZUMI
分类号 H01L21/304;H01L21/316 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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