发明名称 LIQUID GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6444015(A) 申请公布日期 1989.02.16
申请号 JP19870199977 申请日期 1987.08.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IKEDA TOSHIYUKI
分类号 H01L21/208 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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