发明名称 MICROWAVE ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS6443950(A) 申请公布日期 1989.02.16
申请号 JP19870198307 申请日期 1987.08.10
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 SHIMADA MASARU;TORII YASUHIRO;WATANABE IWAO
分类号 H01J37/08;H01J27/16;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/30 主分类号 H01J37/08
代理机构 代理人
主权项
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