发明名称 SYSTEM FOR ASSEMBLING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6444025(A) 申请公布日期 1989.02.16
申请号 JP19870201133 申请日期 1987.08.12
申请人 SONY CORP 发明人 UCHIKOBA SATOSHI;OSONO TAKESHI
分类号 H01L21/52;H01L21/50;H01L21/60 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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