| 发明名称 |
ORGANIC METAL VAPOR GROWTH APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6444011(A) |
申请公布日期 |
1989.02.16 |
| 申请号 |
JP19870200505 |
申请日期 |
1987.08.11 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KAHARA SETSUSHIYUU;WATANABE TOMIICHI;TAMAMURA KOJI;NAKAMURA FUMIHIKO |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/448 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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