Method for coating objects by means of vacuum sputtering supported by magnetic fields.

摘要

Es wird ein Verfahren zum Aufbringen von Überzügen auf Gegenständen mittels magnetfeldunterstützter Kathodenzerstäubung im Vakuum beschrieben, bei dem zur Erzielung einer verbesserten Beschichtungsrate die gesamte in eine Beschichtungskammer eingeleitete Reaktivgasmenge derart bemessen ist, daß der Reaktivgasanteil in der Metall-Reaktivgasverbindung des Überzugs auf dem Werkstück im unterstöchiometrischen Verhältnis vorliegt, und bei dem die Reaktivgasströmung in der Kammer unter Umgehung der Zerstäubungskathode unmittelbar in de Bereich der zu beschichtenden Werkstücke geführt wird.