用于气体环境里的二次电子检测器

摘要

本发明提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的装置。该装置可以包括一种扫描电子显微镜。本发明还提供一种用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的方法。

主权项

1、用于从试样表面生成、放大并检测二次电子的一种装置，其特征在于包括： a)一个具有限压小孔的真空封套； b)一个带电粒子束源，它装在该真空封套之内并能够发射带电粒子束； c)聚焦装置，它装在该真空封套之内并能够引导由该带电粒子束源发射的带电粒子束通过该限压小孔； d)试样台装置，它设置在该真空封套外面，能够保持封装在压力至少0·05乇的气体中的试样与限压小孔对准，以便可以把试样表面暴露在从带电粒子束源发射的并被引导通过限压小孔的带电粒子束之下； e)一个电极，它设置在该真空封套外面并定位在离试样台装置约1和约200mm之间的范围内，使得从装在试样台装置上并暴露在从该带电粒子束源发射的带电粒子束之下的试样表面发射的二次电子可以与该电极接触； f)一个电压源，它连接于该电极和地线之间，能够在该电极和该试样台装置之间保持大于约50伏并小于约2000伏的电位差，该电极的电位相对于该试样台装置的电位是正的，以便用足够强度的电场加速从装在试样台装置上的试样的表面发射的二次电子，以便使所发射的二次电子与气体分子碰撞并产生负电荷载流子，接着，这些负电荷载流子又能够通过与其他气体分子的多次碰撞而产生更多的负电荷载流子，产生多于并正比于原始二次电子数目的许 多负电荷载流子，该电场的强度要低到足以避免灾难性的放电或击穿； g)一个连接到该电极的电流放大器；和 h)连接在该电流放大器和地线之间的电流检测装置。