METHOD OF QUALITY INSPECTION OF INTEGRATED CIRCUITS,申请号SU19874270000-传众专利搜索

发明名称	METHOD OF QUALITY INSPECTION OF INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号	SU1458842(A1)	申请公布日期	1989.02.15
申请号	SU19874270000	申请日期	1987.04.09
申请人	MO LESOTEKHNICHESKIJ INSTITUT	发明人	ZNAMENSKAYA TATYANA D,SU;MALKOV YAKOV V,SU;NUROV YURIJ L,SU;PETROV SERGEJ P,SU;CHERENKOV VYACHESLAV V,SU
分类号	G01R31/303;G01R31/28	主分类号	G01R31/303
代理机构		代理人
主权项
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